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MMA 全自动工具测量显微镜

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所在地: 广东 东莞市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2016-12-19 09:49
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 MMA台式系列测量显微镜采用NIKON原装倾斜式三目镜筒,五段变倍鼻轮(可选自动变倍鼻轮)。提供超高清晰度测量画面,配以0.0001mm分辨率金属光栅实现更高的测量精度,同时Z轴采用专利结构及新进的图像处理方式实现Z轴精准对焦测高,10X及以上物镜对焦重复性≤0.002mm,100X物镜对焦重复性≤0.001mm。

适用于半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板(LCM)、晶片级CSP等领域。

升级扩展选项:
A、DIC微分干涉模块;
B、荧光模块。

机型参数:

 仪器型号/仪器参数 MMA300CNC  MMA400CNC  MMA500CNC
仪器重量/kg  230  400  540
外型尺寸L*W*H  770*660*970  980*790*990  1280*855*1050
测量范围(mm)  X  300  400  500
 Y  200  300  400
 Z  150  150  150
工作台(mm) 大理石台面  487×367  606×476  786×610
 玻璃台面  345×245  445×345  545*445
 承重  20kg  30kg  30kg
影像及测量系统
 
 CCD  德国映美精1/3"彩色CCD,130万像素
 光学头  日本尼康原装倾斜三目镜筒+五段变倍鼻轮(可选自动变倍鼻轮)
目镜  CFI 10X
 物镜  5X、10X、20X、50X、100X(倍率可选)
光栅尺分辨率  0.0001mm
 测量精度(um)  X、Y线性精度:1.6+L/200    X-Y矢量精度:2+L/200 Z轴对焦精度≤0.002mm(10X及以上物镜)
 照明光源  LED同轴落射光源+LED平行透射光源
 工作电源 220v±10%(AC)  50Hz (注:需有电阻≤4Ω接地线)
 工作环境  温度:18~24℃、相对湿度:30~75%、远离振源
 
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